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304. PTB Seminar "VUV and EUV Metrology"

09.11.2017

Die Teilnehmer des 304. PTB-Seminars „VUV and EUV Metrology“ am 19.-20.10.2017 am Institut Berlin der PTB.

Zum inzwischen vierten Mal (im zweijährlichen Rhythmus) fand am 19. und 20. Oktober 2017 im Hermann-von-Helmholtz-Bau die Veranstaltung "Opens external link in new windowVUV and EUV Metrology" als 304. PTB-Seminar statt. Die mehr als 35 Vorträge und Poster spannten einen weiten fachlichen Bogen von der industriellen Anwendung extrem-ultravioletter Strahlung zur Fertigung von Halbleiterstrukturen, über die Entwicklung hochreflektiver Optiken, sowie der Diagnostik hochintensiver und gepulster Strahlung u.a. aus Freie-Elektronen-Lasern bis hin zur weltraumgestützten VUV-Spektroskopie. Mehr als 110 Teilnehmer aus Forschungs- und Metrologieinstituten sowie aus Unternehmen diskutierten in regem Austausch neueste Entwicklungen und Ergebnisse. Die Durchführung wurde von zehn Industrieunternehmen sowie dem Helmholtz-Fonds finanziell unterstützt.

 

Ansprechpartner:

A. Gottwald, 7.13, E-Mail: Opens window for sending emailAlexander.Gottwald(at)ptb.de

F. Scholze, 7.12, E-Mail: Opens window for sending emailFrank.Scholze(at)ptb.de