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Forschungsergebnisse ausgezeichnet mit dem „MST Outstanding Paper Award 2020“ und dem „STMP Paper of the Year 2020 Award”

30.04.2021

Die MST-Auszeichnung würdigt den Fortschritt bei der hochpräzisen AFM-Spitzencharakterisierung unter Verwendung von Einkristall-Silizium Linienstrukturen, die in hochauflösendem TEM als Referenz abgebildet werden. Weitere Details werden hier beschrieben.

Die Forschungsarbeiten wurden in der Veröffentlichung Accurate tip characterization in critical dimension atomic force microscopy beschrieben, die von der Fachzeitschrift Measurement Science and Technology mit dem Outstanding Paper Award 2020 im Bereich der Präzisionsmessung ausgezeichnet wurde:
https://iopscience.iop.org/journal/0957-0233/page/Outstanding-Paper-Awards-2020

Referenz:
Gaoliang Dai, Linyan Xu, Kai Hahm. Accurate tip characterization in critical dimension atomic force microscopy, Meas. Sci. Technol. 31 074011, 2020
https://doi.org/10.1088/1361-6501/ab7fd2


Die STMP-Auszeichnung würdigt die Entwicklung, Charakterisierung und Anwendung eines neuentwickelten Normals zur Bestimmung der 2D-Übertragungsfunktionen von flächenhaften optischen Tographiemessgeräten. Weitere Details werden hier beschrieben.

Die Publikation " A novel material measure for characterising two-dimensional instrument transfer functions of areal surface topography measuring instruments " wurde als "Paper of the Year 2020" der Fachzeitschrift " Surface Topography: Metrology and Properties" ausgezeichnet.
https://iopscience.iop.org/journal/2051-672X/page/Awards

Referenz:
Gaoliang Dai, Ziyang Jiao, Lanting Xiang et al. 2020 A novel material measure for characterising two-dimensional instrument transfer functions of areal surface topography measuring instruments, Surf. Topogr.: Metrol. Prop. 8 045025;
https://doi.org/10.1088/2051-672X/abc9d2

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