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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Calibration Services

Wir bieten erprobte Kalibrierdienstleistungen an Stufenhöhen- oder Tiefeneinstellnormalen, für die Bestimmung des mittleren Gitterabstandes (Pitch) an ein- oder zweidimensionalen Gittern sowie an 3D-Nanonormalen (CD-Messgrößen wie Strukturbreite, Seitenwandwinkel, Linienkantenrauheit, Seitenwandprofilen u.a.) an.

*) Die erreichbare Messunsicherheit hängt sehr stark von der Qualität des zu messenden Objektes ab.

Wie sieht die Reihenfolge der Bearbeitungsschritte bei der Kalibrierung von nanoskaligen Normalen aus?

 

 

 

* In dieser Phase der Anfrage muss der Kunde detaillierte Informationen über sein Messobjekt der PTB bereitstellen (siehe Text unten).

Bild 1. Typisches Flussdiagramm für die Abarbeitung einer Kalibrierdienstleistung durch die PTB

 

 

Der Kunde hat gemeinsam mit seiner Kalibrieranfrage die nachfolgenden Informationen zum Messobjekt an die PTB einzureichen:

  • Messaufgabe (Aufstellung der zu messenden Parameter (Kalibriergrößen));
  • die Größe des Messobjektes;
  • Angaben zum Hersteller des Messobjektes;
  • Angaben zu den verwendeten Materialien;
  • Layout des Messobjektes bzw. des Referenzfeldes;
  • Angaben zur Ausrichtung des Messobjektes auf dem Messgerät (z.B. Lage von Markierungen, Textfeldern u.a.);
  • Zustand des Messobjektes (Aussagen zur Verschmutzung, Beschädigungen wie Kratzer usw.);
  • Art der Befestigung des Messobjektes auf Träger bzw. auf dem Messgerät;
  • Angaben zu den gewünschten Messpositionen;
  • Angaben zur gewünschten Messunsicherheit


Wir empfehlen unseren Kunden die Erstellung von detaillierten Skizzen zur Illustration des Layouts des Messobjektes und der gewünschten Messpositionen.

Für die Kalibrieranfrage setzen Sie sich bitte mit Herrn Pohlenz (per E-Mail unter frank.pohlenz@ptb.de oder telefonisch unter +49 531 592 5142) in Verbindung.