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Mitarbeiter 4.23

Dr. Bernd Bodermann
Tel.:  +49 (0) 531 592-4222
Fax:  +49 (0) 531 592-69-4222
E-Mail: bernd.bodermann(at)ptb.de
Arbeitsgruppenleiter
Dr. Matthias Wurm
Tel.:  +49 (0) 531 592-4223
E-Mail: matthias.wurm(at)ptb.de
Scatterometrie, Ellipsometrie, Müller Polarimetry, Sub-Wellenlängen-Metrologie, Modellierung und Simulation
Alexander Diener
Tel.:  +49 (0) 531 592-4224
E-Mail: alexander.diener(at)ptb.de
Scatterometrie, Ellipsometrie, Müller Polarimetry, Messung von Gitterkonstanten mit opt. Beugung
Detlef Bergmann
Tel.:  +49 (0) 531 592-4226
E-Mail: detlef.bergmann(at)ptb.de
UV/DUV-Mikroskopie, AGID-Mikroskopie
Marcel Janik
Tel.:  +49 (0) 531 592-4285
E-Mail: marcel.janik(at)ptb.de
Konstruktion und Mechanik
Martina Kemlitz
Tel.:  +49 (0) 531 592-4228
E-Mail: martina.kemlitz(at)ptb.de
UV/DUV-Mikroskopie
Sven Teichert
Tel.:  +49 (0) 531 592-4529
E-Mail: sven.teichert(at)ptb.de
Ellipsometrie, Müller Polarimetry
Jana Grundmann

Tel.:  +49 (0) 531 592-4229
E-Mail: jana.grundmann(at)ptb.de

AGID-Mikroskopie