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Symbolbild "Zeitschriften"

Härte mikroskopisch dünner Schichten

PTB-News 3.2015
01.10.2015
Besonders interessant für

Optik

Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik

Biologie, Medizin

MEMS-Nanoindentor mit Rubinkugel als Eindringkörper

Ein in der PTB entwickelter MEMS-basierter Nanoindentor ermöglicht die gleichzeitige Messung von Eindringtiefe und Eindringkraft. Ein nachfolgendes Abtasten des Indentationseindrucks entfällt, was Zeit spart. Die Kompaktheit und die Möglichkeit zur präzisen Massenfertigung machen den Einsatz einer großen Zahl von parallel angeordneten Sensoren möglich. Wegen der kleinen Kräfte, die das MEMS misst, kann es vor allem zur Bestimmung der elastisch-plastischen Eigenschaften von ultradünnen Schichten mit einer Dicke zwischen 10 nm und 1 µm eingesetzt werden, die in der Optik, in der Mikroelektronik oder bei der Fertigung von Mikrosystemteilen eine wesentliche Rolle spielen. Auch Messungen an Zellmembranen sind möglich. (Technologieangebot 0135)

Vorteile

einsetzbar bis hin zu Nanoschichtdicken

On-site-Anwendungen möglich

kleine Abmessungen

MEMS-Struktur, dadurch hohe Präzision

Ansprechpartner Technologieangebote:

Andreas Barthel
Telefon: (0531) 592-8307
E-Mail: andreas.barthel(at)ptb.de
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