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Symbolbild "Zeitschriften"

Gasdetektor für VUV- und EUV-Strahlung

Lizenzpartner gesucht
Besonders interessant für:
  • Beschleunigertechnik
  • Mikrolithografie
  • Materialforschung

Freie-Elektronen-Laser (FEL), Synchrotronstrahlungs- oder andere weiche Röntgenquellen sind für die Materialforschung und -analytik sowie für die Mikrolithografie von großer Bedeutung. Zum Nachweis der entsprechenden Strahlung hat die PTB in Kooperation mit dem Deutschen Elektronen-Synchrotron (DESY) in Hamburg und dem Ioffe-Institut in St. Petersburg einen Niederdruck-Gasdetektor entwickelt. Er ist über differentielles Pumpen direkt mit dem Ultrahochvakuum der Strahlungsquelle verbunden. Das typischerweise bei einem Druck von 10–4 hPa im Detektor verwendete Edelgas, etwa Xenon, wird durch die Photonenstrahlung ionisiert. Mithilfe von elektrischen Feldern vertikal zur Strahlrichtung werden dann Photoionen und Photoelektronen extrahiert und detektiert. Durch Kalibrierung gegen radiometrische Primärnormale und mithilfe des bekannten Wirkungsquerschnitts für die Photoionisation kann auf die Photonenintensität rückgeschlossen werden. Wegen des niedrigen Gasdrucks ist der Detektor weitgehend transparent und kann daher als Monitor eingesetzt werden. Neben der Messung der Intensität kann an mit ihm auch die Position des EUV- oder VUV-Strahles bis auf wenige Mikrometer genau bestimmen.

Ansprechpartner:

Mathias Richter
Fachbereich 7.1 Radiometrie mit
Synchrotronstrahlung
Tel. (030) 3481-7202
E-Mail: mathias.richter(at)ptb.de