PTB-Berichte Optik (Opt)
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PTB-Opt-55 | Strukturbreitenmessung auf photolithographi-schen Masken und Wafern im Lichtmikroskop: Theorie, Einfluß der Polarisation des Lichtes und Abbildungvon Strukturen im Bereich der Auflösungsgrenze - Dissertation |
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| Autor(en): | |
| Jahr: | 1997 |
| Seite(n): | 158 S., 75 Abbildungen, 35 Tabellen |
| Verschiedenes: | DM 39,50 |
| ISBN: | ISBN 3-89701-011-9 |
| Zusammenfassung: | Die Abbildung von Steg-, Spalt- und Grabenstrukturen im Lichtmikroskop, deren Breiten in der Größenordnung der Lichtwellenlängen liegen, und ihr Einsatz für die Strukturbreitenmessung wurden theoretisch und experimentell eingehend untersucht. |