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PTB-Opt-55

Strukturbreitenmessung auf photolithographi-schen Masken und Wafern im Lichtmikroskop: Theorie, Einfluß der Polarisation des Lichtes und Abbildungvon Strukturen im Bereich der Auflösungsgrenze - Dissertation

Autor(en): M. Czaske
Jahr: 1997
Seite(n): 158 S., 75 Abbildungen, 35 Tabellen
Verschiedenes: DM 39,50
ISBN: ISBN 3-89701-011-9
Zusammenfassung: Die Abbildung von Steg-, Spalt- und Grabenstrukturen im Lichtmikroskop, deren Breiten in der Größenordnung der Lichtwellenlängen liegen, und ihr Einsatz für die Strukturbreitenmessung wurden theoretisch und experimentell eingehend untersucht.

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