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Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

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Artikel

Titel: Improved reconstruction of critical dimensions in extreme ultraviolet scatterometry by modeling systematic errors
Autor(en): M.-A. Henn, H. Gross, S. Heidenreich, F. Scholze, C. Elster and M. Bär
Journal: Measurement Science and Technology
Jahr: 2014
Band: 25
Ausgabe: 4
Seite(n): 044003
IOP Publishing
DOI: 10.1088/0957-0233/25/4/044003
ISSN: 0957-0233
Web URL: http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0957-0233/25/4/044003
Marker: 8.41,Scatter-Inv,Scatterometrie, 8.42

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