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Mathematische Modellierung und Datenanalyse

Fachbereich 8.4

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Artikel

Titel: A surrogate model enables a Bayesian approach to the inverse problem of scatterometry
Autor(en): S. Heidenreich, H. Gross, M.-A. Henn, C. Elster and M. Bär
Journal: J. Phys. Conf. Ser.
Jahr: 2014
Band: 490
Ausgabe: 1
Seite(n): 012007
IOP Publishing
DOI: 10.1088/1742-6596/490/1/012007
ISSN: 1742-6596
Web URL: http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/490/1/012007
Marker: 8.41,Bayes,Scatter-Inv,Regression,8.42, UQ

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