Publikationen 8.41
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Beitrag zu Tagungsband
Titel: | On numerical reconstruction of lithographic masks in DUV scatterometry |
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Autor(en): | M.-A. Henn, R. Model, M. Bär, M. Wurm, B. Bodermann, A. Rathsfeld and H. Groß |
Jahr: | 2009 |
Buchtitel: | SPIE Proc. 7390 |
Schlüsselwörter: | 8.41,Scatter-Inv |
Marker: | 8.41,Scatter-Inv |