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290. PTB-Seminar "VUV and EUV Metrology"

04.12.2015

Am 5. und 6. November 2015 fand im Hermann-von-Helmholtz-Bau das 290. PTB Seminar "VUV and EUV Metrology" statt. Auch dieses inzwischen dritte Seminar der im Jahr 2011 gestarteten Reihe zu diesem Thema war wieder ein Forum für interdisziplinären Austausch unter den mehr als 115 Teilnehmern. In 26 Vorträgen und einer Postersitzung wurden unter anderem neueste Ergebnisse bei der industriellen Anwendung von EUV-Strahlung für die Lithographie und Messtechnik vorgestellt, sowie Entwicklungen für die weltraumgestützte VUV-Spektrometrie. Die Durchführung wurde von zahlreichen Industrieunternehmen sowie dem Helmholtz-Fonds unterstützt.

Ansprechpartner:

F. Scholze, 7.12, E-Mail: Opens window for sending emailFrank.Scholze(at)ptb.de
A. Gottwald, 7.13, E-Mail: Opens window for sending emailAlexander.Gottwald(at)ptb.de