Aufgaben
Der Fachbereich 5.1 - „Oberflächenmesstechnik“
- ist zuständig für die Rückführung von Längen und von Kenngrößen in der Oberflächenmesstechnik, d.h.
- die Kalibrierung von Stufen- und Tiefeneinstellnormalen
- die Kalibrierung von Raunormalen
- die Kalibrierung von Härtevergleichsplatten
- die Kalibrierung der Schichtdicke
- die Kalibrierung der Biegesteifigkeit von Cantilevern und der Steifigkeit von MEMS
- arbeitet an Normen und Richtlinien für Oberflächenmesstechnik in den nationalen (VDI, DKD, DIN) und internationalen Gremien (ISO, IMEKO) mit
- betreibt und unterstützt die Entwicklung von Normalen und Prüfkörpern im Bereich der Oberflächenmesstechnik, d.h. für taktile-, optische- und rasterkraftmikroskopische Verfahren sowie für die Härte- und Schichtdickenmesstechnik
- ist aktiv im Bereich der Forschung und Entwicklung neuer Messgeräte und Messverfahren sowie Algorithmen zur Analyse für die Auswertung von Daten.
Forschung
- Profilscanner
Schnelle Oberflächenmessungen (Rauheit, E-Modul, Härte, Ablagerungen) mit Si-Mikrotastern in Einspritzdüsen.
- Lichtinduzierte Kraft
- Nachweis der theoretisch vorhergesagten Lichtanziehung zischen planparrallelen Platten mit geringem Abstand.
- Monoatomare Stufenhöhennormale
- Verfahrensprozess und Messmöglichkeiten an monoatomaren Stufen auf ansonsten atomar glatten SI-Oberflächen.
- Laterale Auflösungsnormale
- Geometrie, Herstellung, Messung und Auswerteverfahren lateraler Auflösungsnormale für die Mikroskopie und taktile Messverfahren.
- Softwareentwicklung zur Rauheitskenngrößenbestimmung
- Entwicklung von Softwarenormalen zur Bestimmung der Rauheitskenngrößen aus Oberflächenmesswerten.
Arbeitsgruppen
Informationen
Änderungen im Fachbereich seit dem 1.1.2018
Der Fachbereich 5.14 "3D-Rauheitsmesstechnik", bisher geleitet durch Dr. Ludger Koenders wird jetzt von Frau Dr. Dorothee Hüser-Espig geführt.
Seit dem 1.1.2017 wurden Umstrukturierungen im Fachbereich durchgeführt.
Die Arbeitsgruppe 5.11 "Härte und taktile Antastverfahren" wird in "Taktile Antastverfahren" umbenannt.
Der Arbeitsbereich der Härte wird zu einer eigenen Arbeitsgruppe mit der Bezeichnung "5.12 Härtemesstechnik".
Die ehemalige Arbeitsgruppe 5.12 Nanokraftmesstechnik wird als Arbeitsbereich in die Arbeitsgruppe 5.11 Taktile Antastverfahren aufgenommen.
Die neue Struktur wird bereits auf unseren Webseiten abgebildet.
Am 22. März 2017 fand der Workshop
Quantitative 3D-Mikroskopie von Oberflächen
in der PTB-Braunschweig statt. Es wurden 10 Fachvorträge vor ca. 30 Teilnehmern aus Industrie und Forschung gehalten. Die Teilnehmer können die Beiträge hier herunter laden.
Programm
NanoScale 2016 in Wrocław, Polen
vom 9. bis 11. März 2016
Das 11. Seminar "Quantitative Mikroskopie" und as 7. Seminar über "Kalibrierungen auf der Nanoskale" fand in diesem Jahr in Wroclaw, Polen, statt.Organisiert wurde es über Prof. T. Gotschalk von der Wrocław University of Technology, Wroclwa, Polen, der Präsidentin D. Habich des Central Office of Measures/Glówny Urzad Miar (GUM) in Warszawa, Polen, der Nanometrology Gruppe des Euramet TC-Length und der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt, Braunschweig, Deutschland. Mehr als 90 Teilnehmer aus der ganzen Welt nahmen daran teil. In 20 Vorträgen und über 50 Poster konnte man sich über den neuesten Stand der Nanometrologie informieren.
