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Einzelladungs-Schaltungen

Arbeitsgruppe 2.42

Herstellung von metallischen Strukturen mit sub-µm-Abmessungen

Metallische Schaltkreise mit Tunnelkontakten im sub-µm Maßstab werden mittels elektronenstrahllithographischer Methoden in unserem Reinraumzentrum hergestellt.

Die wichtigsten Methoden für die Herstellung von Bauelementen, die Einzelladungseffekte zeigen (Single Electron Tunneling), sind: