PTB entwickelt bessere Standards für die mikroskopische Auflösung
Neuer Raman-Standard
Ein von der PTB entwickelter Chip ermöglicht die laterale Kalibrierung von Raman-Mikroskopen und ihrer optischen Auflösung in besonders hoher Güte. Durch seinen Einsatz können Bildabstände und die optische Auflösung bei verschiedensten Kombinationen von Anregungswellenlänge, Objektiv, Schrittweite und Bildgröße bestimmt werden. Der Chip besteht aus einer nahezu topografielosen Silizium-Oberfläche, auf die sehr dünne periodische Gold-Palladium-Muster aufgebracht werden. Durch den Einsatz des Chips wird die quantitative Auswertung der Ramandaten (2D Raman Mappings) in Bezug auf ihre lateralen Dimensionen metrologisch rückführbar. Raman-Mikroskope werden zur ortsaufgelösten Bestimmung der chemischen Zusammensetzung biologischer, chemischer und pharmazeutischer Proben eingesetzt, aber auch bei der Untersuchung von Halbleitern, Mineralien und Polymeren.
Herstellungsprozess für topografiefreie Auflösungsnormale
Die PTB hat ebenfalls ein neues Herstellungsverfahren entwickelt, mit dem sich topografiefreie Prüfkörper herstellen lassen, bestehend aus 2D-Strukturen mehrerer Materialien, die auf einen Silizium-Wafer aufgebracht werden. Die auf diese Weise gefertigte Oberfläche besitzt keine Stufen an den Materialübergängen. Diese strukturierten, ebenen Prüfkörper wurden für die Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie entwickelt, eignen sich aber auch für die Auger-Elektronenspektroskopie, die Härtemessung und die Rasterkraftmikroskopie. Generell können sie für die Kalibrierung von vielen Messverfahren eingesetzt werden, in diesem speziellen Fall zur Messung der elementspezifischen Zusammensetzung von Oberflächen. if/ptb