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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Längen- und Winkelteilungen

Arbeitsgruppe 5.21

Aufgaben und Ziele

 

  • Entwicklung von Messgeräten und -verfahren für Messungen an ebenen Maßverkörperungen mit eindimensionalen Strukturteilungen
  • Kalibrierungen und Untersuchungen an hochpräzisen Strichteilungen, inkrementellen Messsystemen, Messtastern und Laserinterferometern
  • Entwicklung von Messverfahren zur Bestimmung der Geradheit von Strukturteilungen auf ebenen Substraten
  • Kalibrierung des thermischen Ausdehnungskoeffizienten von stabförmigen Messobjekten
  • Die Arbeitsgruppe hat die Aufgabe, Messeinrichtungen und Kalibrierverfahren für die Weitergabe der Messgröße “Ebener Winkel” mit kleinstmöglicher Messunsicherheit bereitzustellen. Die hierzu als Normalmesseinrichtungen verwendeten Winkelkomparatoren sind Winkelmesstische die mit hochgenau kalibrierten Kreisteilungen als Winkelverkörperungen ausgestattet sind.
  • Neben der Kalibrierung und messtechnischen Untersuchung von Winkelnormalen und Winkelmessgeräten werden Forschungsthemen mit der Zielstellung bearbeitet, die Messunsicherheiten der Kalibrierungen zu verringern und neue Messgeräte und -verfahren für die Messgröße “Ebener Winkel” zu entwickeln.