322. PTB Seminar: EUV2023 in Berlin

Metrologie, Grundlagenforschung und Anwendungen im Spektralbereich des Extrem- (EUV) und Vakuum-Ultraviolett (VUV): Seit 40 Jahren forscht und misst die PTB unter Nutzung von Synchrotronstrahlung im Rahmen von Kooperationen und Dienstleistungen für Wissenschaft und Industrie. Zum inzwischen siebten Mal veranstaltete die PTB vom 13. bis 15. November 2023 unter dem Schirm des Helmholtz-Fonds e.V. einen Workshop mit dem Ziel, aktuelle Entwicklungen in der Nutzung dieser Strahlung zu präsentieren. Mehr als 120 Teilnehmende diskutierten bei über 30 Vorträgen und Posterpräsentationen über Fortschritte insbesondere auf den Gebieten der EUV-Lithographie, der Charakterisierung von Nanostrukturen und dünnen optischen Schichten sowie der radiometrischen Charakterisierung von Instrumenten für die weltraumbasierte Erforschung des Sonnensystems.

Die sich insgesamt über drei Tage erstreckende Veranstaltung begann mit einer Besichtigung der PTB-Anlagen für die Metrologie mit Synchrotronstrahlung in Berlin-Adlershof am Nachmittag des 13. November, und wurde am 14. und 15. November im Hermann-von-Helmholtz-Bau auf dem Charlottenburger Campus der PTB fortgesetzt. Im Rahmen einer speziellen Session wurde die Historie der sich über 40 Jahre erstreckenden PTB-Aktivitäten auf diesem Forschungsgebiet gewürdigt, aber auch der Weg in die Zukunft aufgezeigt durch einen Vortrag des wissenschaftlichen Geschäftsführers des Helmholtz-Zentrums für Materialien und Energie Berlin (HZB), Herrn Prof. Dr. B. Rech. Die Nutzung einer zukünftigen Strahlungsquelle BESSY III soll nicht nur die erfolgreichen Aktivitäten der PTB fortschreiben, sondern eine ganz neue Qualität für die Materialmetrologie ermöglichen.

Web: www.EUV2023.ptb.de

Ansprechpartner:

M. Kolbe 7.12, E-Mail: michael.kolbe(at)ptb.de
A. Gottwald, 7.13, E-Mail: alexander.gottwald(at)ptb.de