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Projekt

Transfer der linearen Traceable Multiple Sensor (TMS) Messtechnik für die hochgenaue und hochauflösende Messung optischer Oberflächen

05/2007 - 04/2010

Die lineare TMS Messtechnik wird in die Industrie transferiert. Dieses jüngst an der PTB entwickelte Verfahren ermöglicht die hochgenaue Formmessung optischer Oberflächen mit deutlich besserer lateraler Auflösung und höherem Dynamikbereich als bisher verfügbare Methoden. Das TMS Verfahren ist ein Scanning-Verfahren und verwendet multiple Abstands- und Winkelmessungen. Mittels eines mathematischen Modells können systematische Messabweichungen der verwendeten Sensoren als auch Abweichungen der Führung eliminiert werden. Die Durchführung des Projekts erfolgt zusammen mit der Firma TRIOPTICS GmbH.

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