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Projekt

Erarbeitung referenzfreier Geradheitsmessverfahren

05/2008 - 12/2010

Der PTB Nanometerkomparator ermöglicht Längenmessungen mit einer Genauigkeit im Nanometerbereich. In diesem Projekt soll ein Messverfahren entwickelt werden, das zusätzlich und gleichzeitig zur Längenmessung eine Geradheitsmessung mit Unsicherheiten im Nanometerbereich ermöglicht. Das Verfahren beruht auf scannenden interferometrischen Messungen sowie der mathematischen Modellierung systematischer Abweichungen der Interferometermessungen und Einflüssen einer nicht perfekten Führung. Dieses Projekt ist Teil des BMBF-Verbundvorhabens CDuR32

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