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Metrologie mit Synchrotronstrahlung

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) ist das nationale Metrologie-Institut und oberste Instanz bei allen Fragen des richtigen und zuverlässigen Messens in Deutschland. Seit 1982 verwendet die PTB auch Synchrotronstrahlung für metrologische Aufgaben. Die über 75 Beschäftigten der Fachbereiche 7.1 Radiometrie mit Synchrotronstrahlung und 7.2 Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung unterhalten und nutzen dazu in Berlin-Adlershof ein Laboratorium am Speicherring BESSY II des Opens external link in new windowHelmholtz-Zentrum Berlin (HZB) sowie die PTB-eigene Metrology Light Source (MLS).

Die Schwerpunkte der Arbeiten liegen in den Bereichen:

  •  Grundlagen der Metrologie/Radiometrie
  •  Metrologie für die Industrie/EUV-Lithographie
  •  Forschung und Entwicklung für optische Technologien/Weltrauminstrumente
  •  Materialmetrologie/Nanometrologie

Nachrichten

Qualifizierung von laborbasierter EUV-Scatterometrie für die Halbleiterindustrie

Die Halbleiterindustrie benötigt Messysteme, mit denen die Dimensionen von Transistorstrukturen im Nanometerbereich schnell, zerstörungsfrei und metrologisch zuverlässig charakterisiert werden können. Eine große Herausforderung ist dabei die Begrenzung der Auflösung der Messsysteme durch die Wellenlänge der eingesetzten Strahlung. An der PTB und der RWTH Aachen wird deshalb die Verwendung von...

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Quantitative Veränderungen von Batterieelektroden mit komplementären röntgenspektrometrischen Methoden untersucht

Auf der Fachtagung ‚Prozessnahe Röntgenanalytik (PRORA) 2022‘ wurde Karina Bzheumikhova, Doktorandin in der Arbeitsgruppe 7.24 Röntgenspektrometrie, mit dem Posterpreis für die Präsentation ihrer Arbeit ‚X-ray spectroscopy investigation of LiNixCoyMn1-x-yO2 cathode materials: the final step to understanding pristine NMC cathode materials‘ ausgezeichnet.

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Posterpreis für Ergebnisse der Röntgenfluoreszenzanalyse an Krebsgeweben

Auf der 'European X-Ray Spectrometry' (EXRS 2022)-Konferenz wurde Katja Frenzel, Masterstudentin in der Arbeitsgruppe 7.24 Röntgenspektrometrie, mit einem Posterpreis für ihre Arbeit "Quantitative characterization of elemental mass depositions in pancreatic carcinoma sections of mice by reference-free X-ray fluorescence analysis" ausgezeichnet. 

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