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Röntgenspektrometrie

Arbeitsgruppe 7.24

Profil

Die Arbeitsgruppe Röntgenspektrometrie bietet Dienstleistungen, Forschung und Entwicklung für röntgenspektroskopische Messtechnik mit Synchrotronstrahlung an. Die entwickelten analytischen Methoden und die spezialisierte und kalibrierte Instrumentierung ermöglichen u.A. eine referenzprobenfreie quantitative Analyse und ergänzen die derzeitigen Ausstattungen aus der Industrie und kommerzieller Laborbereiche.

Es werden verschiedenste Strahlrohre im PTB-Laboratorium bei BESSY mit Photonenenergien zwischen 78 eV und 60 keV (15.9 nm bis 0.02 nm) für die Messtechnik genutzt.

Die Arbeitsgruppe untersucht Oberflächen, Festkörper, Flüssigkeiten, Nanoschichten und Strukturen hinsichtlich physikalischer und chemischer Eigenschaften, Dimensionen, Zusammensetzung und Verunreinigung. Es werden Schlüsseltechnologien wie Materialentwicklung für die Nanoelektronik, Energiespeicher, Bewertung von Oberflächen für die Biotechnologie / Medizintechnik, oder Materialien für die Nanotechnologie unterstützt.

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Forschung/Entwicklung

  • Qualitative und Quantitative (Referenzprobenfreie) Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA, GIXRF, TXRF)
  • Hochauflösende energie- und wellenlängendispersive Röntgenemissionsspektrometrie (XES)
  • Röntgenabsorptionsspektroskopie (XAFS)
  • Entwicklung von UHV-Instrumentierung für RFA-Anwendungen
  • Bestimmung von atomaren Fundamentalparametern

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Dienstleistungen

  • Ermittlung der Oberflächenkontamination auf Wafermaterialien
  • Ermittlung von elementbezogenen Massenbelegungen dünner Schichten

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Informationen

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