Röntgenmesstechnik mit Synchrotronstrahlung

Die zunehmende Komplexität von nano-strukturierten Oberflächen bei technologischen Anwendungen ist eine enorme Herausforderung auch für deren metrologische Charakterisierung. Besonders in der Halbleiterindustrie sind hochkomplexe und mehrdimensionale Nanostrukturen, die aus unterschiedlichen Materialien zusammengesetzt sind, von großer Bedeutung. Im PTB-Laboratorium am Elektronenspeicherring BESSY...

Fundamentale Materialparameter wie zum Beispiel die Wirkungsquerschnitte zur Wechselwirkung von Materie mit Strahlung sind sowohl für die Grundlagenforschung als auch für diagnostische und analytische Anwendungen von großer Bedeutung. In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IPM in Freiburg i. Br. wurden an der Metrology Light Source kürzlich die...

PTB und ASML nehmen bei BESSY II ein neues Forschungs-Strahlrohr in Betrieb  

Die fortschreitende Miniaturisierung der Mikroelektronik macht es unumgänglich: Zukünftig müssen die Strukturen auf den Mikrochips und anderen Bauteilen mithilfe von Lithografie im EUV-Bereich hergestellt werden, also mit einer extrem kleinen Wellenlänge von nur 13,5 nm. Für Testmessungen haben die Physikalisch-Technisc...