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7.14 EUV-Nanometrologie - Diffuse Streuung

Diffuse Streuung

Für die Rekonstruktion der dimensionellen Größen von periodischen Nanostrukturen wird im allgemeinen das Interferenzmuster auch Diffraktion genannt untersucht. Von der eigentlich Diffraktion abweichende Streuintensitäten bezeichnet man auch als Diffuse Streuung. Ihr Ursprung liegt dabei in der Imperfektion von nanostrukturierten Oberflächen. Reale Nanostrukturen weichen immer von idealen Strukturen ab. Kantenrauhigkeiten, Oberflächenrauhigkeiten oder Fehler in der eigentlichen Periodizität können zu sehr komplexen Streumustern führen. Diese statistischen Informationen können zum Beispiel über die Art der Kantenrauhigkeit Rückschlüsse (LER, LWR) ermöglichen, oder hilfreich sein um die der Rauhigkeit zu quantifizieren.

 

 

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