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EUV-Radiometrie

Arbeitsgruppe 7.12

Profil

Proben und Detektormechanik vom Ellipsometer

Die Arbeitsgruppe EUV-Radiometrie entwickelt Messtechnik für die Charakterisierung von optischen Elementen und Detektoren sowie die Untersuchung von Materialeigenschaften im Spektralbereich von 1 nm bis 40 nm. Anwendungen sind vor allem Untersuchungen von optischen Komponenten für die Halbleiterlithographie mit EUV-Strahlung und die Entwicklung von Methoden zur Untersuchung strukturierter Oberflächen mittels Lichtstreuung. Die Gruppe nutzt 2 Monochromator-Strahlführungen an der MLS und bei BESSY II und betreibt das EUV-Reflektometer und ein Scatterometer-Ellipsometer (siehe Bild) zur Messung von Reflexion und Streuung unter beliebigen Polarisationsrichtungen.

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Forschung/Entwicklung

  • Methoden zur Untersuchung strukturierter Oberflächen mittels Lichtstreuung
  • Verbesserte Messverfahren für EUV-optische Komponenten
  • Untersuchungen der Oberflächenrauheit von Spiegeln mit Multilagenbeschichtung
  • Bereitstellung von Messtechnik und metrologischem Know-How für Industrie und Forschung im Rahmen von Kooperationen
  • Lebensdaueruntersuchungen an optischen Komponenten und Detektoren unter intensiver EUV-Bestrahlung

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Dienstleistungen

Die folgenden Kalibrierungen gemäß Initiates file downloadQM-Handbuch der Abt. 7 werden in AG 7.12 durchgeführt:

  • spektrale Empfindlichkeit von Strahlungsempfängern mit Rückführung auf Kryoradiometrie
  • spektraler Reflexions- und Transmissionsgrad
  • Nachweiswahrscheinlichkeit für Photonen (energiedispersive Röntgendetektoren)

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Informationen

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