Aufgaben
Nutzung von Synchrotronstrahlung der Speicherringe Metrology Light Source (MLS) und BESSY II im THz-, IR-, UV-, VUV-, EUV und weichen Röntgenbereich zur Bearbeitung grundlegender und angewandter metrologischer Aufgaben:
- Realisierung der Skala der spektralen Empfindlichkeit im UV-, VUV-, EUV- und weichen Röntgenbereich mit Kryoradiometern als primäre Empfängernormale
- Photonendiagnostik für die Forschung an Röntgenlasern
- Charakterisierung von Weltrauminstrumentierung
- Reflektometrie an optischen Komponenten und Materialien vom UV- bis in den weichen Röntgenbereich, insbesondere für die EUV-Lithographie
- Untersuchung von Nano-Schichten und -Strukturen über Streumethoden und IR-Nahfeldmikroskopie
- Quantitative Charakterisierung von Oberflächen und dünnen Schichten mit VUV-Ellipsometrie, -Elektronenspektroskopie und IR-Spektroskopie
