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Temperatur und Synchrotronstrahlung

Abteilung 7

Höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Darstellung, Bewahrung und Weitergabe strahlungsphysikalischer und thermodynamischer Einheiten, insbesondere für die spektrale Leistung elektromagnetischer Strahlung, die Temperatur, die Wärmeenergie. Entwicklung neuer Verfahren und Technologien für diese Größen auch für Extrembereiche, Anwenderberatung und Systemlösungen bei neuen metrologischen Fragestellungen.

Nachrichten

Metrologie mit Synchrotronstrahlung für die Halbleiterfertigung

Die Ankündigung der großen Halbleiterproduzenten Samsung und TSMC im Herbst 2018, EUV-Lithografie (EUVL) für die Herstellung ihrer High-End-Prozessoren einzusetzen, markiert den kommerziellen Durchbruch dieser Technologie nach einer langen Phase der Vorlaufforschung. Die PTB unterstützt bereits seit zwanzig Jahren die Entwicklung von...

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Im Frequenzbereich zwischen 80 GHz und 110 GHz wurde erstmals ein Messvergleich zwischen der leitungsgebundenen Hochfrequenzleistungsmessung im Rechteckhohlleiter einerseits und der Leistungsmessung eines gaußverteilten Freistrahls andererseits durchgeführt. Dabei wurde basierend auf den Messunsicherheiten der jeweiligen Leistungsdetektion unter Berücksichtigung der Transmissionsunsicherheit des...

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Die Emissionsstatistik von quantenoptischen Lichtquellen ist für das Verständnis dieser Bauelemente von großer Bedeutung und zugleich mit gängigen Detektoren messtechnisch nur schwer zugänglich. Ein Messsystem, das im kürzlich abgeschlossenen EMPIR-Vorhaben MIQC2 von der PTB und der Technischen Universität Berlin entwickelt und charakterisiert wurde, erlaubt nun die Bestimmung der exakten...

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