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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Ultrapräzisionsbearbeitung

 

Mit der Ultrapräzisionsbearbeitung ist es möglich, Werkstücke aus Nichteisenmetallen, Kunststoffen oder aus Halbleiterwerkstoffen wie z.B. Silizium- und Germanium-Einkristallen herzustellen mit Formgenauigkeiten im Submikrometerbereich sowie Oberflächenrauheiten im Nanometerbereich. Darüber hinaus weisen die Oberflächen oft optische Qualität auf, d.h. sie sind gut reflektierend und die Geometrie ist in gleicher Qualität reproduzierbar.

Um diesen hohen Anforderungen zu genügen, müssen an die Werkzeugmaschine, das Werkzeug und die Umgebung hinsichtlich Genauigkeit und Temperaturstabilität sehr hohe Anforderungen gestellt werden. Auf einer CNC-Drehmaschine sind durch Einsatz moderner Steuerungstechnik, einer y-Achse und eines sog. „fast-tool servos“ auch nicht rotationssymmetrische Teile möglich. Die erreichten Formabweichungen sind je nach Werkstückgeometrie kleiner als 100 nm. Die mittlere Rauheit ist üblicherweise besser als 10 nm. Als Werkzeuge kommen überwiegend monokristalline Diamanten zum Einsatz.

 

 

Blick in die Moore 250 UPL Drehmaschine
Ultrapräzise Galvanoformung
Superfeines Raunormal

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