Auswahl konstruierter Messgeräte und Versuchseinrichtungen
Abb.: Mikrowellenmesseinrichtung
zur Leistungsflussdichtemessung
in Elektromagnetischen Feldern
Abb.: Apparatur zur Orientierung
von Gitternetzebenen in hochreinen
Silizium-Einkristallen
Abb.: DUV-Scatterometer
Abb.: Primär-Normalmesseinrichtung
Abb.: Photonenbestrahlungsanlage
Abb.: Kugelinterferometer
Abb.: Leuchtenpositionier-Einrichtung
Abb.: Reinstwassermesszelle
Abb.: Neigungssensor
Abb.: Elektropolieren
Abb.: Röntgenstrahlermessplatz
Abb.: Vakuumkammer
Abb.: Messpfad für das
Ultrapräzisionsinterferometer
Abb.: Zylindrisches Wasserkalorimeter
Abb.: Piezo-Probenumgebung
Abb.: TCAP-Streukammer
Abb.: Magnetisierungsmessplatz
Abb.: Funkenprüfgerät 2.0