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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Interferometrische Kalibrierung von Parallelendmaßen

Arbeitsgruppe 5.43

Dienstleistungen

Die Kalibrier- und Messmöglichkeiten der gesamten Abt. 5 sind als PDF-Dokument zum Download verfügbar. Sie sind in das Qualitätsmanagementsystem der PTB, das die Anforderungen der DIN EN ISO/IEC 17025 erfüllt, eingebunden.

Siehe Auszug QMH Abt.5, Initiates file download Kalibrier- und Messmöglichkeiten der gesamten Abt. 5. Auf den Seiten 12 und 13 (siehe Lesezeichen) ist das Leistungsangebot der AG 5.43 aufgeführt.

 

 
Leistungsangebot für Kalibrierungen von Parallelendmaßen

 


Messgröße / Gegenstand


Messbereich


Erweiterte Messunsicherheit


Mittenmaß / Parallelendmaße
(interferometrische Messung)


0,5 mm bis 200 mm

Q[20; 0,18 L] in nm;
L in mm


Differenz der Mittenmaße /
Paare von Parallelendmaßen
(interferometrische Messung)


0,5 mm bis 100 mm

10 bis 14 nm


Mittenmaß / Parallelendmaße
(interferometrische Messung)


100 mm bis 1000 mm

Q[22; 0,066 L] in nm;
L in mm


Thermischer Ausdehnungskoeffizient /
Parallelendmaße
(interferometrische Messung)


60 mm bis 1000 mm

Q[2,4/L; 2,2; 0,46α]
in 10-9 K-1; L in m;
α in 10-9 K
-1


Thermischer Ausdehnungskoeffizient /
Parallelendmaße
(mechanische Messung)


60 mm bis 100 mm

1,6 ... 1,1 . 10-7 . K-1


Mittenmaß / Parallelendmaße
(mechanische Messung)


200 mm bis 1000 mm

Q[30; 0,12L] in nm;
L in mm


Thermischer Ausdehnungskoeffizient /
Parallelendmaße
(mechanische Messung)

125 mm bis 1000 mm

12 ... 3,6 . 10-8 . K-1


Länge / Sondermessungen
an endmaßähnlichen Körpern

200 mm bis
4000 mm

auf Anfrage