Interferometrische Kalibrierung von Parallelendmaßen

Messgröße / Gegenstand

Messbereich

Erweiterte Messunsicherheit

Mittenmaß / Parallelendmaße
(interferometrische Messung)

0,5 mm bis 200 mm

Q[20; 0,18 L] in nm;
L in mm

Differenz der Mittenmaße /
Paare von Parallelendmaßen
(interferometrische Messung)

0,5 mm bis 100 mm

10 bis 14 nm

Mittenmaß / Parallelendmaße
(interferometrische Messung)

100 mm bis 1000 mm

Q[22; 0,066 L] in nm;
L in mm

Thermischer Ausdehnungskoeffizient /
Parallelendmaße
(interferometrische Messung)

60 mm bis 1000 mm

Q[2,4/L; 2,2; 0,46α]
in 10^-9 K^-1; L in m;
α in 10^-9 K^-1

Thermischer Ausdehnungskoeffizient /
Parallelendmaße
(mechanische Messung)

60 mm bis 100 mm

1,6 ... 1,1 ^. 10^{-7 .} K^-1

Mittenmaß / Parallelendmaße
(mechanische Messung)

200 mm bis 1000 mm

Q[30; 0,12L] in nm;
L in mm

Thermischer Ausdehnungskoeffizient /
Parallelendmaße
(mechanische Messung)

125 mm bis 1000 mm

12 ... 3,6 ^. 10^{-8 .} K^-1

Länge / Sondermessungen
an endmaßähnlichen Körpern

200 mm bis
4000 mm

auf Anfrage