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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Rastersondenmetrologie

Arbeitsgruppe 5.25

Ansprechpartner

Kontakt

Arbeitsgruppenleiter

Dr. Hans-Ulrich Danzebrink

Telefon: (0531) 592-5136

E-Mail: hans-ulrich.danzebrink(at)ptb.de

Entwicklung von metrologischen Rastersondenmikroskopen Kalibrierung von Normalen für die Rastersondenmikroskopie

Dr. Gaoliang Dai

Telefon: (0531) 592-5127

E-Mail: gaoliang.dai(at)ptb.de

Untersuchung der Wechselwirkung zwischen Probe und Oberfläche Entwicklung von 3D-Normalen

Dipl.-Phys. Thorsten Dziomba

Telefon: (0531) 592-5122

E-Mail: thorsten.dziomba(at)ptb.de

Kalibrierung von Normalen für die Rastersondenmikroskopie

Dipl.-Ing. Frank Pohlenz

Telefon: (0531) 592-5142

E-Mail: frank.pohlenz(at)ptb.de

Selbstkalibrierverfahren für Rasterkraftmikroskope Virtuelles Rasterkraftmikroskop

Dr. Min Xu

Telefon: (0531) 592-5147

E-Mail: min.xu(at)ptb.de