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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Mikrosystemtechnik

Arbeitsgruppe 5.25

Profil

Ziel der Arbeitsgruppe ist die Entwicklung und Verbesserung von Messtechnik, insbesondere von Rastersondenmikroskopen, für die dimensionelle Messung für den Anwendungsbereich der Nanotechnologie. Hierzu zählt neben dem Aufbau von höchstauflösenden, rückführbaren Messgeräten, die Entwicklung von Normalen und Messverfahren zur Kalibrierung von Geräten in Forschung und Industrie.

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Forschung/Entwicklung

Die Forschungsschwerpunkte sind:

  • Entwicklungen eines höchstauflösenden Rasterkraftmikroskops (SFM)
  • Untersuchung hysteresefreier Scannersysteme
  • Entwicklung lateral hochauflösender Antastsysteme
  • Aufbau und Optimierung von Messmöglichkeiten der NanoMessMaschine
  • Kalibrieren von Normalen auf höchstem Niveau

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Dienstleistungen

Die Kalibrier- und Messmöglichkeiten des Fachbereichs 5.2 sind als PDF-Dokument zum Download verfügbar. Sie sind in das Qualitätsmanagementsystem der PTB, das die Anforderungen der DIN EN ISO/IEC 17025 erfüllt, eingebunden. Die PDF-Datei enthält demnächst (ab Version 05/2007) Lesezeichen zu den Dienstleistungen im Bereich Mikromesstechnik, Härte, Schichtdicke und Rauheit.

Kalibrier- und Messmöglichkeiten der gesamten Abt. 5 Auszug QMH Abt. 5 , Version 04/2006)
PDF-Datei (140 KB)

Hinweis:
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Informationen

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