![Si-Kugeln: Fertigung und Messung Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens](https://www.ptb.de/cms/fileadmin/templates/assets/bilder_seitenkopf/abteilung5_kopf.jpg)
Laufende Projekte
"MOSIS": Monte-Carlo-Simulation der Bildentstehung im REM bei der Untersuchung von Fasern
Obwohl von asbestartig wirkenden Fasern Gesundheitsgefahren ausgehen, werden bei Routineuntersuchungen zur Arbeitssicherheit Fasern mit Durchmessern von weniger als 200 nm bisher nicht berücksichtigt. Um dieses Limit optischer Mikroskope zu überwinden, werden entsprechende Messverfahren für Rasterelektronenmikroskope (REM) entwickelt. Zur präzisen Bestimmung insbesondere der Breite der Fasern ist dabei ein genaues Verständnis der Bildentstehung im REM nötig.
Um eine entsprechende Simulationsumgebung zu entwickeln, arbeitet die PTB im Rahmen des Forschungsprojekts “Monte-Carlo-Simulationen der bilderzeugenden Streuprozesse bei der REM-Untersuchung von Fasern” mit der Bundesanstalt für Arbeitsschutz- und Arbeitsmedizin (BAuA) zusammen.
![615px MOSIS Fragestellung REM-Aufnahme einer Faser auf einem Porenfilter. Bei der manuellen Bestimmung der Breite schwankt der Wert zwischen 106 nm und 160 nm. Frage: Wie groß ist der reale Durchmesser der Faser? (Quelle: BAuA)](https://www.ptb.de/cms/fileadmin/internet/fachabteilungen/abteilung_5/5.2_dimensionelle_nanometrologie/5.24/615px_MOSIS_Fragestellung.png)
Ansprechpartner: Martin Herrmann
"IT2": IC Technologies for the 2nm node
Die Entwicklung immer leistungsfähigerer Smartphones und Computer fußt wesentlich auf der Fertigung immer kleinerer und komplexerer Halbleiterstrukturen. Um die Grundlagen für den nächsten Technologieknoten zu legen, haben sich über 30 auf dem Gebiet der Halbleitertechnik führende europäische Firmen und Institutionen im Projekt “IC Technologies for the 2 nm node” zusammengeschlossen. Die Weiterentwicklung der Produktionsverfahren setzt eine genaue Vermessung der hergestellten Strukturen voraus. Dazu wird unter anderem Elektronenmikroskopie in Verbindung mit Röntgenspektroskopie genutzt. Durch Beschreibung und Simulationen der zugrundeliegenden physikalischen Vorgänge sollen das Verständnis und die Genauigkeit dieser Methoden verbessert werden.
Ansprechpartner: Christian Bick