Profil
Die Arbeitsgruppe 5.24 beschäftigt sich mit elektronenmikroskopischen Messverfahren und deren Anwendung, insbesondere im Bereich der dimensionellen Nanometrologie.
Forschung/Entwicklung
Laufende und abgeschlossene Projekte
Dienstleistungen
- Rückgeführte Messung der mittleren Partikelgröße mittels TSEM
- Messbereich: 7 nm -- 300 nm
- Unsicherheit: 2 nm + 0,02\*d (d in nm)
CMC-Eintrag