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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

LOW NOISE 3D/CD-AFM

Low-Noise-AFM

 

Ziel dieser Forschungsaufgabe ist die Entwicklung eines neuen rauscharmen 3D/CD-AFM mit den folgenden Forschungsschwerpunkten:

  • eine verbesserte Version des 3D/CD-AFM, die ein geringeres Messgeräterauschen, einen automatischen Spitzenwechselmechanismus sowie eine bessere optische Beleuchtung gemeinsam mit einem optimierten optischen Mikroskop bietet;
  • Messbereich von 12 µm x 12 µm x 8 µm (x, y, z);
  • Positionierbereich des Probentisches von 210 mm x 210 mm x 8 mm (x, y, z);
  • 3D-Nanometrologie unter Nutzung von speziellen „flared“-Tastspitzen;
  • 3D-Nanometrologie unter Anwendung des „Tilting-AFM“-Prinzips;
  • Das hierbei gesammelte Wissen steht im Rahmen des Technologietransfers durch die PTB für Interessenten zur Verfügung.


Das Messgerät wird gegenwärtig aufgebaut und optimiert.

Bild 1: (a) Foto des Aufbaus des Low-Noise-AFM;

(b) Wiederholbarkeit der Messungen bei Stillstandsmessung (Antasten des gleichen Messpunktes);