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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

AFM Strukturbreiten-Metrologie

Arbeitsgruppe 5.23

Kontakt

Arbeitsgruppenleiter

Dr. Gaoliang Dai

Telefon: (0531) 592-5127

E-Mail: gaoliang.dai(at)ptb.de

Development of new 3D AFM probing techniques

Dr. Sebastian Bütefisch

Telefon: (0531) 592-5119

E-Mail: sebastian.buetefisch(at)ptb.de

Simulation of the tip sample interaction in 3D-AFM

Dr. Dorothee Hüser

Telefon: (0531) 592-5180

E-Mail: dorothee.hueser(at)ptb.de

Calibration of nano 3D standards

Dipl.-Ing.(FH) Kai Hahm

Telefon: (0531) 592-5189

E-Mail: kai.hahm(at)ptb.de