
Ansprechpartner
Kontakt
Rasterelektronenmikroskopie, Monte-Carlo Simulationen
Masken-Kalibrierungen, Sondermessaufgaben, Verfahrens- und Geräteentwicklung
Dipl.-Phys. Wolfgang Häßler-Grohne
Telefon: (0531) 592-5112
SW-Entwicklung, Geräteentwicklung und -optimierung
Masken-Kalibrierungen, Finite-Elemente Berechnung der Maskendurchbiegungen, Gerätekonstruktion
Konstruktion, Fertigung und Erprobung von mechanischen Baugruppen
Entwicklung 300 mm AFM
Rasterelektronenmikroskopie
Anmerkung:
Weitere Mitarbeiter sind anteilig für die Arbeitsgruppe 5.22 tätig, so z.B. für die Elektronikpräparation.