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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Verschiebeinterferometrie

Arbeitsgruppe 5.22

Ansprechpartner

Kontakt

Arbeitsgruppenleiter

Dr. Jens Flügge

Telefon: (0531) 592-5200

E-Mail: jens.fluegge(at)ptb.de

Rasterelektronenmikroskopie, Monte-Carlo Simulationen

Dr. Carl Georg Frase

Telefon: (0531) 592-5186

E-Mail: carl.g.frase(at)ptb.de

Masken-Kalibrierungen, Sondermessaufgaben, Verfahrens- und Geräteentwicklung

Dipl.-Phys. Wolfgang Häßler-Grohne

Telefon: (0531) 592-5112

E-Mail: wolfgang.haessler-grohne(at)ptb.de

SW-Entwicklung, Geräteentwicklung und -optimierung

Dipl.-Ing.(FH) Kai Hahm

Telefon: (0531) 592-5189

E-Mail: kai.hahm(at)ptb.de

Masken-Kalibrierungen, Finite-Elemente Berechnung der Maskendurchbiegungen, Gerätekonstruktion

Dipl.-Ing.(FH) Bernd Przebierala

Telefon: (0531) 592-5114

E-Mail: bernd.przebierala(at)ptb.de

Konstruktion, Fertigung und Erprobung von mechanischen Baugruppen

Karsten Fromm

Telefon: (0531) 592-5106

E-Mail: karsten.fromm(at)ptb.de

Entwicklung 300 mm AFM

Dr. Dorothee Hüser

Telefon: (0531) 592-5180

E-Mail: dorothee.hueser(at)ptb.de

Rasterelektronenmikroskopie

Dr. Klaus-Peter Johnsen

Telefon: (0531) 592-5113

E-Mail: klaus-peter.johnsen(at)ptb.de

 

Anmerkung:

Weitere Mitarbeiter sind anteilig für die Arbeitsgruppe 5.22 tätig, so z.B. für die Elektronikpräparation.