Logo PTB
Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Längen- und Winkelteilungen

Arbeitsgruppe 5.21

Mess- und Kalibriermöglichkeiten

Im Rahmen der gesetzlichen Aufgabe der PTB -Darstellung und Weitergabe der SI Einheiten- bietet die Arbeitsgruppe Längen- und Winkelteilungen als Dienstleitung Möglichkeiten zur Kalibrierung von Maßverkörperungen und Messgeräten zum Messen von Winkeln und Längen (Winkelendmaße, Prismen, 90°-Winkelnormale, Winkelmess- und Indextische, Drehgeber, Optische Teilköpfe, Theodolite, Autokollimatoren, Neigungsmessgeräte, Nanometerkomparator).

Messbereich und Messunsicherheit dieses Leistungsangebots sind im Qualitätsmanagementhandbuch aufgeführt. Auf Seite 7, Positionen 5/0116 bis 5/0126, sind die Werte der Arbeitsgruppe 5.23 zu finden.

Längenteilungen auf Strichmaßstäben und 2D Platten:

StrukturabständeNanometer-
Komparator
L: 1 mm - 400 mm

L: 400 mm - 550 mm

L: 550 mm - 1000 mm

Abstand der Teilung zur Grundfläche max. 25 mm

Abstand der Teilung zur Außenfläche des Objektes max. 160 mm.
5 nm

10 nm

25 nm

 

Inkrementelle Längenmesssysteme:

VerschiebungNanometer-
Komparator
L: 1 mm - 400 mm

L: 400 mm - 550 mm

Abstand der Teilung zur Grundfläche max. 25 mm

Abstand der Teilung zur Außenfläche des Objektes max. 160 mm.
Q[2; 2L] in nm; L in m

10 nm

 

Laserinterferometer:

VerschiebungNanometer-
Komparator
L: 1 mm - 550 mm

Kalibrierung bei 20 °C und unter atmosphärischen Bedingungen
Q[2; 2L] in nm; L in m

 

Tastermesssysteme:

VerschiebungNanometer-
Komparator
L: 1 mm - 250 mm

Kalibrierung in horizontaler Lage
25 nm

 

Thermischer Ausdehnungskoeffizient von stabförmigen Körpern:

Thermischer Expansionskoeffizient von stabförmigen KörpernAlpha-
Messplatz
L: 100 mm - 1300 mm
Querschnittsfläche:
< 60 mm × 40 mm
2 ⋅ 10-8 K-1 / Objektlänge in m

 

Sonstige Dienstleistungen:

Der Nanometerkomparator kann aufgrund seiner universellen Schnittstellen (Mechanik und Software) für Sensoren auch für andere kundenspezifische Messaufgaben und zur Untersuchung von allen Arten von Verschiebungsmesssystemen eingesetzt werden. Die erreichbaren Messunsicherheiten hängen in diesem Fall stark von der vorliegenden Messaufgabe ab.