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3D-Rauheitsmesstechnik

Arbeitsgruppe 5.14

Entwicklungen in der Interferenzmikroskopie

Bestimmung der Aperturkorrektur
Der Abstand zwischen verschiedenen Streifen einer Interferenz entspricht einem Höhenunterschied auf der Oberfläche von der Hälfte der Wellenlänge des verwendeten Lichtes. Bei genauerer Betrachtung muss aber ein Korrekturfaktor in der Bestimmungsgleichung für den Höhenunterschied angebracht werden, der die numerische Apertur des Mikroskopes berücksichtigt.

Aperturkorrekturfreies Interferenzmikroskop
Durch einem modifizierten Michelson-Interferometer-Kopf kann das Problem der Aperturkorrektur vermieden werden.

Richtlinie zum Kalibrieren von Interferenzmikroskopen
Zum Einhalten von Qualitätssicherungsmaßnahmen müssen wichtige metrologische Merkmale von Interferenzmikroskopen zurückgeführt werden. Als Hilfestellung für die Nutzer wurde von der PTB zusammen mit Vertretern aus der Industrie, Herstellern und Instituten im VDI eine Richtlinie zum Kalibrieren von Interferenzmikroskopen erarbeitet.

  • Sie beschreibt die Regeln für die Rückführung mit Unsicherheitsberechnungen.
  • Sie bildet die Grundlage für die Vergleichbarkeit von Messungen mit verschiedenen Interferenzmikroskopen und mit anderen Geräten und
  • bietet Annahme- und Abnahmebedingungen zwischen Lieferanten und Abnehmern.

Zwei-Farben-Interferenzmikroskop
Für große Tiefen von Einstellnormalen im Bereich zwischen 10 µm und 100 µm muss die Wellenlänge des verwendeten Lichtes sehr genau bekannt sein. Zu Lösung der damit verbundenen Probleme wird in der PTB ein Interferenzmikroskop entwickelt, mit dem Tiefeneinstellnormale in diesem Tiefenbereich kalibriert werden können. Zur Beleuchtung werden zwei Lichquellen unterschiedlicher Wellenlänge eingesetzt. Opens internal link in current window