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Schichtdicke und kristalline Normale

Arbeitsgruppe 5.13

Ansprechpartner

Leiter

Nanometer-Schichtdickennormale
Spektrale Ellipsometrie (SE, nm-Schichtdicke)
Röntgenreflektometrie (XRR, nm-Schichtdicke)
Avogado-Projekt

Dr. rer. nat. Ingo Busch
+49 (0) 531 592-6136
  +49 (0) 531 592-69 6136
ingo.busch(at)ptb.de

Rasterelektronenmikroskopie (REM, µm und nm-Schichtdicke)
Tastschnittmessungen

Dipl.-Phys. Thomas Ahbe
+49 (0) 531 592-5143
  +49 (0) 531 592-69 5143
thomas.ahbe(at)ptb.de

Foliendickenmessung

Elektromagnetische Schichtdickenmessung

Präparation

Dr. rer. nat. Ingo Busch
+49 (0) 531 592-6136
  +49 (0) 531 592-69 6136
ingo.busch(at)ptb.de

Anschrift

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

AG 5.13 Schichtdicke und kristalline Normale

Bundesallee 100
38116 Braunschweig