Normen und Richtlinien
DIN Normenausschuss 027-03-03 AA 
"Fertigungsmittel für Mikrosysteme"
Im Fachbereich Feinwerktechnik beschäftigt sich der Arbeitsausschuss F 3 "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" mit der Erarbeitung von Vereinbarungen und Normen für Fertigungsmittel zur Herstellung von Mikrosysteme:
- Ermittlung von Materialeinflüssen auf die Messunsicherheit in der optischen und taktilen dimensionellen Messtechnik. Es wurde die DIN Norm 32567 erarbeitet, die sich in den Teilen 2 und 3 mit der taktilen Messung der Dicke weicher Schichten auf harten Substraten und in den Teilen 4 und 5 mit der optischen Messung der Dicke transparenter Schichten befasst.