Taktile Antastverfahren für Mikrostrukturen
Überblick über verschiedene, in der AG 5.11 verwendete Antastmöglichkeiten für Mikrostrukturen:
Piezoresistive Silicium Mikrotaster
Profilscanner
HRTS (Taster für taktile Messverfahren)
MEMS (Mikro-Elektronisch-Mechanisches-System