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Vergleich zweier unterschiedlicher Kalibrierverfahren für Laserleistung bei 157 nm

31.12.2005

Zwischen Arbeitsgruppen in den Abteilungen „Optik“ und „Temperatur und Synchrotronstrahlung“ wurde ein Vergleich der spektralen Empfindlichkeit eines Laserleistungsmessgerätes für 157 nm Strahlung eines F2-Lasers durchgeführt. Dabei wird einmal von Primärnormalen bei hoher Leistung im sichtbaren Spektralbereich und einmal von Primärnormalen bei kleiner Leistung bei 157 nm ausgegangen. Die beiden Methoden stimmen im Rahmen der kombinierten Standardmessunsicherheit überein.