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Übersichtsartikel: Quantitative Mikroskopie und dimensionale Nanometrologie

Referenzen
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B. Bodermann, E. Buhr, W. Mirandé
PTB-Mitteilungen 113, 9-17 (2003)
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W. Häßler-Grohne, C. G. Frase, S. Czerkas, K. Dirscherl, B. Bodermann, E. Buhr, G. Ehret, M. Wurm, H. Bosse
6th international conference, European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Vienna, Austria, May 28th - June 1st, 2006
Proceedings of the 6th international conference, European Society for Precision Engineering and Nanotechnology EUSPEN Band 1 (2006), Seite 374 - 377
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B. Bodermann, H. Bosse, C. G. Frase, L. Koenders, G. Wilkening
GMA-Fachtagung "Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering"^, Erlangen, Germany, 29-30, November, 2006
Messtechnik für Mikro- und Nano-Engineering : Tagung Erlangen, 29. und 30. November 2006 (November2006), Seite 99-108
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B. Bodermann, E. Buhr, A. Diener, K. Dirscherl, G. Ehret, C. G. Frase, M. Wurm
Advanced Lithography 2007, San Jose, USA, 25, February - 02, March, 2007
Proceedings of SPIE Band 6518 (2007), Seite 65181X-1 - 65181X-11
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B. Bodermann, H. Bosse
Optoelectronics Letters: 4 2, 81-85 (2008)
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B. Bodermann, E. Buhr, G. Ehret, F. Scholze, M. Wurm
9th International Symposium on Laser Metrology, Singapore, 30, June - 02, July, 2008
(2008)
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B. Bodermann, E. Buhr, G. Ehret, Z. Li, F. Scholze, M. Wurm
4th EOS Topical Meeting on Advanced Imaging Techniques, Jena, Germany, 10-12, June 2009
4th EOS Topical Meeting on Advanced Imaging Techniques (2009), Seite 40-41
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B. Bodermann, J. Flügge, H. Groß, A. Kato, F. Scholze
PTB-Mitteilungen: 121 (2), 152-164 (2011)
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R. Koening, J. Fluegge, D. Hueser, W. Haessler-Grohne, H.-U. Danzebrink, G. Dai, U. Brand, V. Nesterov, S. Buetefisch, G. Ehret, M. Wurm, B. Bodermann, E. Buhr, H. Bosse
Measurement 2011, 8th International Conference on Measurement, Smolenice, Slovakia, 27-30, April, 2011
Measurement 2011 : proceedings of the 8th International Conference on Measurement (2011), Seite 95-106
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H. Bosse, B. Beckhoff, B. Bodermann, U. Brand, M. Bug, E. Buhr, G. Dai, H.-U. Danzebrink, T. Dziomba, V. Ebert, G. Ehret, A. Felgner, J. Fluegge, C. G. Frase, S. Gao, H. Gross, B. Guettler, G. Hilgers, P. Hoenicke, A. Jordan-Gerkens, A. Kato, T. Klein, L. Koenders, M. Kolbe, R. Krueger-Sehm, M. Krumrey, U. Kuetgens, R. Meess, M. Mueller, V. Nesterov, H. Nettelbeck, A. Nowak, B. Pollakowski, H. Rabus, F. Reinhardt, F. Scholze, M. Schulz, H. W. Schumacher, T. Schurig, S. Sievers, U. Steinhoff, R. Stosch, L. Trahms, T. Weimann, J. Weser, S. Wundrack, M. Wurm, F. Yaghobian, S. Zakel
CIMM-PTB Seminar on Dynamic Measurements and Nanometrology, Beijing, China, 10-13, May, 2011
CIMM-PTB Seminar on Dynamic Measurements and Nanometrology : proceeding of CIMM-PTB Seminar 2011 (2011), Seite 107-125
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H. Bosse, B. Bodermann, G. Dai, J. Fluegge, C. G. Frase, W. Haessler-Grohne, P. Koechert, R. Koening, C. Weichert
58th IWK - Ilmenau Scientific Colloquium: Shaping the Future by Engineering, Ilmenau, Germany, 08-12,September, 2014
58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium: Proceeding (2014), Seite 15
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H. Bosse, B. Bodermann, G. Dai, J. Fluegge, C. G. Frasse, H. Gross, W. Haessler-Grohne, P. Koechert, R. Koening, F. Scholze, C. Weichert
Technisches Messen 82(7/8), 346-358 (2015)
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