Übersichtsartikel: Quantitative Mikroskopie und dimensionale Nanometrologie Kalibrierstandards Optische Mikroskopie AGID-Mikroskopie DUV-Mikroskopie Scatterometrie Diffraktometrie (Gitterkonstanten mittels optischer Beugung) Spektroskopische Ellipsometrie und Müller-Polarimetrie Optische Sub-Wellenlängen- und Nanometrologie Modellierung