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Optische Nanometrologie

Arbeitsgruppe 4.23

Normale für Mikro- und Nanometrologie

In der Mikro- und Nanometrologie werden Normale z.B. für die Bestimmung der lateralen Vergrößerung oder der lateralen Auflösung eines Mikroskops verwendet. Von besonderer Bedeutung sind so genannte Strukturbreiten-Normale, d.h. lineare Strukturen mit definierten Breiten-Abmessungen. Diese werden u.a. in der Halbleiter-Industrie eingesetzt, wo sie als CD (critical dimension) standards bezeichnet werden.

Für viele Anwendungen sind Normale geeignet, die Chrom-Strukturen auf einem Glas- oder Quarzsubstrat enthalten. Solche Strukturen können mit lithografischen Methoden hergestellt werden.

Die PTB hat zusammen mit anderen Partnern Normale für verschiedene Anwendungszwecke entwickelt. Darüber hinaus bietet die PTB die Kalibrierung der Normale als Dienstleistung an.

Folgende Normale sind entwickelt worden und sind verfügbar:

  • Photomasken-Normal
  • Normal für die optische Mikroskopie
  • Normal für die UV-Mikroskopie
  • CD-Normal für die Scatterometrie