Mit einem rückgeführten Fizeau-Interferometer bieten wir Ebenheitskalibrierungen von optischen Planflächen bis Durchmesser von 300 mm an. Die Ebenheitsabweichung sollte kleiner als 5 µm sein. Durch das Messprinzip mittels einer wellenlängenschiebenden Laserdiode können auch planparallele Platten gemessen werden. Die erweiterte Messunsicherheit (k=2) beträgt dabei 11 nm. Die laterale Auflösung wird durch die Größe der zu messenden Fläche bestimmt. Die Fläche wird dabei auf eine Kamera mit 1000 x 1000 Pixel abgebildet.
Abbildung: Interferometeraufbau zur Ebenheitsmessung
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