Für die Analyse von Messungen mit einem spektroskopischen Müller-matrix Ellipsometer wurde in der PTB kürzlich ein neuartiges Analyseverfahren entwickelt, welches den Einfluss von Depolarisation und anderen stochastischen Einflussgrößen adäquat in der Messunsicherheitsschätzung berücksichtigt. Dieses Verfahren wurde nun erstmalig auf die Messung der Dicken von SiO2-Schichten angewendet. Die Ergebnisse von Messungen an verschiedenen Sätzen an kalibrierten Schichtdickennormalen mit nominalen Schichtdicken zwischen 6 nm und 1000 nm zeigen eine exzellente Übereinstimmung mit den bekannten Kalibrierwerten.

(M. Wurm, FB 4.2, matthias.wurm@ptb.de)

Each mobile telecommunications network requires synchronization between its components. Deutsche Telekom Technik AG has decided to test a method developed by the AGH University of Science and Technology in Krakow, Poland, for the future monitoring of selected points in its network. It is based on optical time transmission (OTT), which has been tested in cooperation with PTB, among others on glass fiber links of Deutsche Telekom AG (DTAG). The results exceed by far the requirements of the International Telecommunication Union (ITU-T) for 5G networks.

We demonstrate the retrieval of deep subwavelength structural information in nano-optical polarizers by scatterometry of quasi-bound states in the continuum (quasi-BICs). To this end, we investigate titanium dioxide wire grid polarizers for application wavelengths in the deep ultraviolet (DUV) spectral range fabricated with a self-aligned double-patterning process. In contrast to the time-consuming and elaborate measurement techniques like scanning electron microscopy, asymmetry induced quasi-BICs occurring in the near ultraviolet and visible spectral range provide an easily accessible and efficient probe mechanism. Thereby, dimensional parameters are retrieved with uncertainties in the sub-nanometer range. Our results show that BICs are a promising tool for process control in optics and semiconductor technology.