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EMRP-Projekt "Metrology for airborne molecular contamination in manufacturing environments" (IND63 MetAMC) erfolgreich abgeschlossen

09.05.2017

Nach 3 jähriger Bearbeitungszeit hat AG 3.22 seine Arbeiten für das MetAMC Projekt zur Detektionen kleinster Mengen luftgetragener, molekularer Verunreinigungen, z.B. in Reinräumen basierend auf photoakustischer, PAS, sowie der sog. Cavity-enhanced Spektroskopie, CEAS, abgeschlossen.

Dies beinhaltete die Entwicklung, die metrologi-sche Charakterisierung, den Feldeinsatz, sowie den projektweiten Vergleich der Metho-den zur Spurendetektion von Ammoniak in Luft im Bereich weniger nmol/mol. Eine Zusammenfassung des Projekts ist unter Opens external link in new windowhttps://www.ptb.de/emrp/ind63-home.html einsehbar.