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Herstellung von Nanostrukturen

Arbeitsgruppe 2.53

Die in der Arbeitsgruppe untersuchten Nanostrukturen werden auf unterschiedliche Weise hergestellt, z.B. durch hochauflösende Elektronen-strahllithographie.

Elektronenstrahllithographie

Zur Herstellung von 0D- und 1D-Strukturen wird die Dimension eines zweidimensionalen Elektronengases auf GaAs/AlGaAs-Basis durch Elektronenstrahllithographie und anschließendes Ätzen und Abscheiden elektrostatischer Gatekontakte weiter reduziert.