Die in der Arbeitsgruppe untersuchten Nanostrukturen werden auf unterschiedliche Weise hergestellt, z.B. durch hochauflösende Elektronen-strahllithographie.
Elektronenstrahllithographie Zur Herstellung von 0D- und 1D-Strukturen wird die Dimension eines zweidimensionalen Elektronengases auf GaAs/AlGaAs-Basis durch Elektronenstrahllithographie und anschließendes Ätzen und Abscheiden elektrostatischer Gatekontakte weiter reduziert. |