Herstellungstechnologie
im Reinraumzentrum
Optische Lithographie
Für die optische Belichtung von Photolack wird ein Kontaktbelichter eingesetzt:
Kontaktbelichter
Mit einem Maskenjustier- und Belichtungsgerät wird eine Cr-Maske zunächst zur Probe justiert, dann die Maske in Kontakt zur Photolackschicht gebracht und anschließend das Muster der Maske mit UV-Licht auf die Lackschicht der Probe übertragen.
