Logo der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt

Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM)


Übersicht

Mit Hilfe des Rasterelektronenmikroskops wird, anders als beim Lichtmikroskop, die Oberfläche eines Objektes mit einem Elektronenstrahl abgerastert. Durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahl (PE) mit der Probe werden Sekundärelektronen (SE) bzw. Rückstreuelektronen (BSD) frei, welche über entsprechende Detektoren erfasst werden können. Dadurch lassen sich unterschiedliche Kontrastbilder (Topographiekontrast, Materialkontrast) detektieren. Zusätzlich lässt sich über die Detektion der freiwerdenden materialspezifischen Röntgenstrahlung mit Hilfe eines EDX-Detektors (Energiedispersive Röntgensprektroskopie) Analysen über die Materialzusammensetzung erstellen.

Technische Daten

Hersteller:

Typ:

Baujahr:

Strahlquelle:

Beschleunigungsspannung:

max. Auflösung:

Detektoren:

ZEISS

GeminiSEM 560

2022

Schottky-Feldemissionskathode

0.02 - 30 kV

0.5 nm bei 15 kV

In-Lens SE-Detektor
Everhart-Thornley SE-Detektor
In-Lens EsB-Detektor 
aBSD-Detektor
EDX-Detektor